一：硅片电阻率对什么有影响 硅片退火处理，是工艺的一个环节。是按一定的程序对硅片进行升温、降温的过程；为什么要进行退火？原因之一是，硅片中含有氧，氧有吸取杂质的作用。退火时可以将硅片表面附近的氧，从其表面挥发脱除，使表面附近的杂质数量减少。...