氢化物气相外延

一:有机金属气相外延法和金属有机物气相沉积法的区别

氢化物气相外延和化学气相沉积的区别 氢化物气相外延氮化镓衬底的制备研究 氮化镓(GaN氢化物汽相外延(HVPE金属有机化学气相沉积(MOCVD自支撑氮化镓(FSGaN

二:针对晶体材料生长的模拟仿真软件?

光伏半导体领域的专业软件业内有很多,我了解到常用有以下几类。

一、PolySim软件-------

改良西门子法多晶硅,该软件主要面向光伏半导体上游企业工程师及相关院所研发人员,可以模拟整个还原过程,进而实现工艺参数优化及反应器设计改进。其模拟计算结果主要包括还原炉产率、单耗、硅转化率、电流参数、气体流量、硅棒中心温度、硅棒表面的气体消耗、气体流动条件及总能耗等参数。

二、CGSim软件-------

可以模拟提拉法(CZ)、液封直拉法(LEC)、蒸汽压力控制提拉法(VCZ),泡生法(Ky),热交换法(HEM)、定向凝固法(DS),布里奇曼法(亦称坩埚下降法)晶体生长过程。软件能够对晶体生长过程的温场、流场、晶体热应力、炉体中的温度分布以及固液界面等等进行分析, CGSim软件包中包含以下几个基本工具:CGSim二维模块、缺陷模块、动态直拉模块、三维流体模块。用View 2D和CGSim Viewer软件工具可以可视化观察模拟结果。

三、VR(Virtual Reactor)系列软件-------

根据生长原理不同,该软件主要有以下版本:

物理气相沉积:

• 生长SiC : VR-PVT SiC™

• 生长AlN : VR-PVT AlN™

• 氢化物气相外延生长: HEpiGaNS™

• 生长GaN

• 生长AlN 、AlGaN和InGaN

• 化学气相沉积

• 生长SiC: VR-CVD SiC™

金属有机气相物理外延:

• MOVPE法生长III-N族晶体: VR NE™

• MOVPE法砷化物和磷化物晶体生长: VR III-V™

四、SimuLED(LEDs与LDs)软件-------

适用于发光二极管与激光二极管,SimuLED软件包包含三个模块,即SiLENSe, SpeCLED和RATRO。

该软件主要用于:

1、 优化和设计LED结构与芯片

2、 模拟LED芯片的IV特性

3、 模拟LED芯片的LOP-I特性

4、 模拟LED芯片的出光率

五、PVcell--------

适用于半导体太阳能电池的模拟优化,不同的偏压的一系列计算可以得到IV特性,转换效率,短路电流,开路电压和填充因子。不同的激发波长一系列计算可以找出IQE和EQE的光谱依赖性。

在给定的电压下,经PVcell模拟计算可以得到以下结果:

电流密度、 功率、 转换效率 ;

能带图、 电势、 电场 ;

载流子和电离的杂质浓度 ;

生成率,复合率 (不同通道) ;

部分的电子和空穴电流密度。

好辛苦的,采纳吧。。。

三:什么是真空气相沉积晶体

定义

MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。

缩写

Metal-organic Chemical Vapor Deposition (金属有机化合物化学气相沉淀。

原理

MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压(10-100Torr)下通H2的冷壁石英(不锈钢)反应室中进行,衬底温度为500-1200℃,用射频感应加热石墨基座(衬底基片在石墨基座上方),H2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区。

编辑本段概况

系统组成

因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质,并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料。因此在MOCVD系统的设计思想上,通常要考虑系统密封性,流量、温度控制要精确,组分变换要迅速,系统要紧凑等。不同厂家和研究者所产生或组装的MOCVD设备是不同的。 一般由 源供给系统 、气体输运和流量控制系统、反应室及温度控制系统、尾气处理及安全防护报警系统、自动操作及电控系统。   【源供给系统】   包括Ⅲ族金属有机化合物、V族氢化物及掺杂源的供给。金属有机化合物装在特制的不锈刚的鼓泡器中,由通入的高纯H2携带输运到反应室。为了保证金属有机化合物有恒定的蒸汽压,源瓶置入电子恒温器中,温度控制精度可达0.2℃以下。氢化物一般是经高纯H2稀释到浓度5%一10%后,装入钢瓶中,使用时再用高纯H2稀释到所需浓度后,输运到反应室。掺杂源有两类,一类是金属有机化合物,另一类是氢化物,其输运方法分别与金属有机化合物源和氢化物源的输运相同。   【气体输运系统】   气体的输运管都是不锈钢管道。为了防止存储效应,管内进行了电解抛光。管道的接头用氢弧焊或VCR及Swagelok方式连接,并进行正压检漏及Snoop液体或He泄漏检测,保证反应系统无泄漏是MOCVD设备组装的关键之一。流量是由不同量程、响应时间快、精度高的质量流量计和电磁阀、气动阀等来实现。在   真空系统与反应室之间设有过滤器,以防油污或其它颗粒倒吸到反应室中。为了迅速变化反应室内的反应气体,而且不引起反应室内压力的变化,设置“run”和“vent,,管道。   【反应室和加热系统】   反应室是由石英管和石墨基座组成。为了生长组分均匀、超薄层、异质结构的化合物半导体材料,各生产厂家和研究者在反应室结构的设计上下了很大功夫,设计出了不同结构的反应室。石墨基座是由高纯石墨制成,并包裹SIC层。加热多采用高频感应加热,少数是辐射加热。由热电偶和温度控制器来控制温度,一般温度控制精度可达到0.2℃或更低。   【尾气处理系统】   反应气体经反应室后大部分热分解,但还有部分尚未完全分解,因此尾气不能直接排放到大气中,必须先进行处理,处理方法主要有高温热解炉再一次热分解,再用硅油或高锰酸钾溶液处理;也可以把尾气直接通入装有H2SO4+H2O及装有NaOH溶液的吸滤瓶处理;也有的把尾气通入固体吸附剂中吸附处理,以及用水淋洗尾气等。   【安全保护及报警系统】   为了安全,一般的MOCVD系统还备有高纯从旁路系统,在断电或其它原因引起的不能正常工作时,通入纯N2保护生长的片子或系统内的清洁。在停止生长期间也有常通高纯N2保护系统。   【手动和自动控制系统】   一般MOCVD设备都具有手动和微机自动控制操作两种功能。在控......余下全文>>

四:生产蓝宝石衬底的企业是否同时生产外延片?金属有机物气相外延(MOCVD)和泡生法分别是什么?有什么关联么?

生产蓝宝石衬底的企业暂时没有几个在同时生产外延片,除了向三安光电那样做了外延片之后又往前做衬底片的,因为外延片的资本技术等投入不是一下两下就能搞的定的,像蓝晶四联只做衬底,不做外延,但是四联可以做后道封装,所以大部分的衬底厂家不做外延片。

MOCVD是氮化镓层在蓝宝石衬底片上生长的一种方法,又是因为这样的方法,所以一般又把这种机器叫MOCVD,MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族珐素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。

泡生法是一种蓝宝石晶体的长晶方法,又叫KY(Kyropoulos)法,这种方法是将一根受冷的籽晶与熔体接触,如果界面的温度低于凝固点,则籽晶开始生长,为了使晶体不断长大,就需要逐渐降低熔体的温度,同时旋转晶体,以改善熔体的温度分布。也可以缓慢的(或分阶段的)上提晶体,以扩大散热面。

MOCVD跟泡生法两者没有什么关联,如果非要说联系,那就说泡生法生长的晶体材料的品质问题会在MOCVD外延后有一定的体现。

希望对你有用。

五:2. 网站的地图上都有火龙洞,可是怎么进?好多人都不知道,知道的朋友能不能说一下怎么走法

呃~没去过

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